日本kashiyama柏山工業株式會社

日本柏山工業株式會社Kashiyama Industries, Ltd.，位于日本國長野縣佐久市，成立于1951年1月10日。產品包括高精密真空泵和滑雪設備。堅山干式真空泵產品廣泛應用于半導體，液晶和新能源等行業。

干式真空泵

干式真空泵介紹

您可以信賴的真空技術。展現**實力的多元化產品群。

Kashiyama 的產品在半導體和液晶制造等眾多現代**領域深受客戶信賴。

這種信任的基礎是我們多年來培育的真空技術。

尤其是干泵系列，已成為半導體制造工藝的標準，可以說是該真空技術的**之作，在*廣泛的應用中展現出*高的可靠性，受到了客戶的高度贊譽。困難的過程..

柏山真空技術創造的產品，不僅是干泵，還有機械增壓泵和真空泵，正在許多領域展示其威力。

主要型號

號*1	SDX600	SDT600	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000 *5	SDH6000 *5
*大抽速 [L/min] *2	10,000	18,000	19,000	30,000	50,000	100,000
極限壓力 [Pa] *2	0.5	0.3	0.5
氮氣流量[SLM]	0 至 80	0 到 120
冷卻水流量[L/min]	3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
消耗功率 [kW] *3	1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm] *4	L。	695	695	850	910	1050
W.	第285章	第285章	380	第420章	515
H。	850	850	950	900	950

*1) SDX 節能/赫什工藝兼容機、SDT/SDH 耐工藝/超嚴酷工藝兼容機
*2)不使用 N2 吹掃時的值。*3) *終運行期間的大約功耗。*4) 封裝尺寸。如需詳細尺寸，請索取外部圖紙。
*5) 我們擁有一系列具有優異加工耐受性的產品，因此請聯系我們的銷售代表。
規格和型號名稱如有變更，恕不另行通知。*請聯系我們了解兼容的氣體類型。

排氣性能曲線